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申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：一种光学发射光谱系统可以包括：参考光源；分析器，用于接收和分析从参考光源发射的光；以及校准器，用于校准从参考光源发射的光。校准器可以根据光的入射角改变校准比率。
主权项：1.一种光学发射光谱系统，包括：参考光源；分析器，用于接收和分析从所述参考光源发射的光；以及校准器，用于校准从所述参考光源发射的光，所述参考光源、所述分析器和所述校准器沿中心轴是同轴的，且从所述参考光源发射的光相对于所述中心轴以不同的入射角入射在所述校准器上；其中，所述校准器根据所述不同的入射角校准入射在所述校准器上的光的光强度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星电子株式会社 光学发射光谱系统及其校准方法和制造半导体器件的方法
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