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申请/专利权人：默克专利有限公司
摘要：本发明提供一种电子设备制造液、制造抗蚀剂图案的方法及制造器件的方法。
主权项：1.一种电子设备制造液，其至少包含：阴离子表面活性剂A、溶剂B、及季铵化合物C；其中，该表面活性剂A优选为含有羧基的化合物，更优选为烷基羧酸化合物，进一步优选由式a表示：Ra1-COOH式a式a中，Ra1为C3-12烷基，优选Ra1为直链或支链的C3-10烷基；该溶剂B优选包含水；或者该电子设备制造液优选为电子设备制造水溶液。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 默克专利有限公司 电子设备制造液、制造抗蚀剂图案的方法及制造器件的方法
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