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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本申请公开了一种磁控管结构及半导体处理设备，磁控管结构用于半导体设备，包括固定磁控管组件和可变磁控组件，二者用于在所述半导体设备中形成可调控的可变磁场，其中，所述可变磁控组件包括：盛液箱，设置在所述固定磁控管组件上方用于盛装磁流体；承载板，设置在所述固定磁控管组件下方；多个容纳腔体，均设置在所述承载板朝向所述固定磁控管组件的一面，并与所述盛液箱连通，多个所述容纳腔体均可调控地充入或抽出预定体积的所述磁流体。本申请可以根据不同工艺所需的磁场分布要求向相应的容纳腔体充入目标体积的磁流体，即磁控管结构可以提供可变磁场，从而可以拓展现有的磁控管的应用范围，以适用更多的工艺场景。
主权项：1.一种磁控管结构，用于半导体设备，其特征在于，所述磁控管结构包括固定磁控管组件和可变磁控组件，二者用于在所述半导体设备中形成可调控的可变磁场，其中，所述可变磁控组件包括：盛液箱，设置在所述固定磁控管组件上方用于盛装磁流体；承载板，设置在所述固定磁控管组件下方；多个容纳腔体，均设置在所述承载板朝向所述固定磁控管组件的一面，并与所述盛液箱连通，多个所述容纳腔体均可调控地充入或抽出预定体积的所述磁流体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 一种磁控管结构及半导体处理设备
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