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一种具有旋转温场的晶体生长设备及其在氟代硼铍酸钾晶体制备中的应用 

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申请/专利权人:中国科学院理化技术研究所

摘要:本发明公开一种具有旋转温场的晶体生长设备,包括:炉盖;炉体;防护外壳;以及固定于炉体底部的旋转组件;所述炉体包括加热组件以及被加热组件三面环围形成的炉腔;在所述炉腔中设置有坩埚和控温元件,所述坩埚通过吊丝悬挂于所述炉腔的中心;所述旋转组件包括与炉体同轴设置的中空旋转轴,以及沿所述中空旋转轴轴向设置并套设其上的轴承组件;所述轴承组件由多个轴承组成,所述轴承的内圈与中空旋转轴固定,所述轴承的外圈通过轴承固定架与所述防护外壳固定;在所述中空旋转轴的侧壁上还配置有用于铺设导线的贯通孔。该设备有利于溶质内质量输运和热量输运,从而提高晶体生长速率和晶体质量。

主权项:1.一种具有旋转温场的晶体生长设备,其特征在于,所述晶体生长设备包括:炉盖;炉体;防护外壳;以及固定于炉体底部的旋转组件;其中,所述炉盖和炉体形成密闭的反应空间,所述炉体包括加热组件以及被加热组件三面环围形成的炉腔;在所述炉腔中设置有坩埚和控温元件,所述坩埚通过吊丝悬挂于所述炉腔的中心;所述旋转组件包括与炉体同轴设置的中空旋转轴,以及沿所述中空旋转轴轴向设置并套设其上的轴承组件;所述轴承组件由多个轴承组成,所述轴承的内圈与中空旋转轴固定,所述轴承的外圈通过轴承固定架与所述防护外壳固定;在所述中空旋转轴的侧壁上还配置有用于铺设导线的贯通孔。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学院理化技术研究所 一种具有旋转温场的晶体生长设备及其在氟代硼铍酸钾晶体制备中的应用

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