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申请/专利权人：聚勒微电子科技(太仓)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种碳化硅晶体退火炉，包括炉体、设置在炉体下侧位置处的支撑脚，所述炉体的上侧外部位置处设置有吊环，所述炉体的中间内侧位置处设置有加热圈，所述加热圈的内侧位置处设置有导热石墨筒，所述炉体的上侧位置处设置有炉盖，所述炉盖的上侧中间位置处设置有驱动电机，通过螺纹拧开炉盖和将炉盖吊起，以及利用底板移动和卸载碳化硅晶体，使得操作更加方便和快捷，通过吊块将炉盖吊起，利用底板移动和卸载碳化硅晶体，可以减少操作人员的体力劳动，同时也降低了意外伤害的风险，通过将底板重新放入加热筒内，并在加热筒内通过驱动电机带动缓慢转动，可以实现碳化硅晶体的稳定加热和均匀退火，从而提高了作业的效率和质量。
主权项：1.一种碳化硅晶体退火炉，包括炉体（1）、设置在炉体（1）下侧位置处的支撑脚（2）；所述炉体（1）的上侧外部位置处设置有吊环（5），所述炉体（1）的中间内侧位置处设置有加热圈（3）；所述加热圈（3）的内侧位置处设置有导热石墨筒（4）；所述炉体（1）的上侧位置处设置有炉盖（6），所述炉盖（6）的上侧中间位置处设置有驱动电机（7）；所述驱动电机（7）以及炉体（1）分别通过连接外部电源进行供电；其特征在于：所述炉盖（6）的下侧位置处设置有加热筒（8），所述加热筒（8）的上侧外部位置处设置有固定环（9），所述加热筒（8）的内侧上方位置处设置有连接螺纹（10），所述固定环（9）的左右两侧内部位置处设置有凹槽（11）；所述加热筒（8）的内侧下方位置处设置有底板（14），所述底板（14）的下侧位置处设置有弹簧圈（15），所述底板（14）的左右两侧上方位置处分别设置有吊杆（13），所述吊杆（13）的上侧末端位置处设置有吊块（12）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 聚勒微电子科技(太仓)有限公司 一种碳化硅晶体退火炉
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