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申请/专利权人：瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司
摘要：本申请属于光刻胶材料技术领域，具体涉及一种正型高分辨率光刻胶及其制备方法。一种正型高分辨率光刻胶，包括以下重量份的原料：可酸脱保护的丙烯酸脂共聚树脂80‑95份、改性酚醛树脂10‑21份、重氮类感光剂2‑5份、有机溶剂130‑165份；所述可酸脱保护的丙烯酸脂共聚树脂为羟基苯乙烯‑异戊二烯‑甲基丙烯酸异冰片酯共聚物。本申请中的一种正型高分辨率光刻胶，可以形成较高分辨率图形的光刻胶；即兼具较高的分辨率以及优异的抗干刻性能，可推广光刻胶的应用范围。
主权项：1.一种正型高分辨率光刻胶，其特征在于：包括以下重量份的原料：可酸脱保护的丙烯酸脂共聚树脂80-95份、改性酚醛树脂10-21份、重氮类感光剂2-5份、有机溶剂130-165份；所述可酸脱保护的丙烯酸脂共聚树脂为羟基苯乙烯-异戊二烯-甲基丙烯酸异冰片酯共聚物。
全文数据：
权利要求：
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