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申请/专利权人：江苏科技大学
摘要：本发明公开了一种提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法，包括制备样品，样品厚度为30～80微米；将样品冲孔成直径3～4毫米的圆片或裁剪成宽度为3～3.2毫米、长度为4毫米的长方形薄片；采用电解双喷或离子减薄的方法，在样品中间部分产生一个穿透小孔，从而使小孔周围形成一个厚度在500纳米以下的薄区，并将样品置于样品载具上，放于扫描电镜中对样品进行观察；该样品载具的中部设有沉槽，沉槽两边通过导电胶固定样品，样品的穿透小孔位于槽口的上方。本发明能够对合金样品进行亚微米级别的精确分析，解决了扫描电镜中存在物相成分容易受到周围基体影响和面分布分析精度较低的问题。
主权项：1.一种提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：制备样品，样品厚度为30～80微米；步骤2：将样品冲孔成直径3～4毫米的圆片或裁剪成宽度为3～3.2毫米、长度为4毫米的长方形薄片；步骤3：采用电解双喷或离子减薄的方法，在样品中间部分产生一个穿透小孔，从而使小孔周围形成一个厚度在500纳米以下的薄区；步骤4：将样品置于样品载具上，并放于扫描电镜中对样品进行观察。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏科技大学 一种提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法
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