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申请/专利权人：山东大学
摘要：本发明涉及一种自剥离非极性多孔氮化镓单晶及制备方法。所述自剥离非极性多孔氮化镓单晶以镓酸锂单晶衬底为原料，通过控制反应器压力与氨气流量，镓酸锂单晶衬底在高温下与氨气反应，采用多段保温技术制得。本发明的方法在降低反应时间的条件下，可制得非极性多孔氮化镓单晶薄膜材料。本发明采用CVD设备进行镓酸锂氨化，该方法操作简单，可行性强，制备成本低廉，所需的镓酸锂单晶制备简单，晶体质量高且尺寸大，有利于大规模的制备生产自剥离非极性多孔氮化镓单晶材料，对于制备非极性多孔氮化镓单晶薄膜材料，该方法也有着广阔的前景。
主权项：1.一种自剥离非极性多孔氮化镓单晶材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1将LiGaO2单晶置于反应器内，抽真空，而后通入氮气，将温度升至1073K～1173K，保温；2将反应器内的氮气排净，通入氨气，将温度升至1173K～1273K，进行反应；3降温至773K～973K，抽真空，再将温度降至室温，即得自剥离非极性多孔氮化镓单晶材料。
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权利要求：
百度查询： 山东大学 一种自剥离非极性多孔氮化镓单晶材料及制备方法
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