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申请/专利权人：江苏亿钶半导体设备有限公司
摘要：本发明为一种三甲基镓供应系统，它包括出液系统和清洁回收系统，所述出液系统包括储液罐和蒸发器，储液罐上分别设置有进气管道和出液管道，出液管道直插入罐体内部靠近罐底，进气管道插入至罐体内位于液面的上方位置，作为挤压气使用，通过灌入气体让液体挤出，所述储液罐与蒸发器连接，蒸发器通过多根出气管路连接外部设备，并在每个管道上开设有阀门开关，所述进气管道还开设有一根直接连接至蒸发器的管道，作为载气使用，与蒸发后的气体一起进入出气管路，并在蒸发器上还安装有清洁回收系统。本发明具有种结构简单合理，高精度，浓度控制范围广，低成本，系统安全可靠等优点。
主权项：1.一种三甲基镓供应系统，它包括出液系统和清洁回收系统，其特征在于：所述出液系统包括储液罐和蒸发器，储液罐上分别设置有进气管道和出液管道，出液管道直插入罐体内部靠近罐底，进气管道插入至罐体内位于液面的上方位置，作为挤压气使用，通过灌入气体让液体挤出，所述储液罐与蒸发器连接，蒸发器通过多根出气管路连接外部设备，并在每个管道上开设有阀门开关，所述进气管道还开设有一根直接连接至蒸发器的管道，作为载气使用，与蒸发后的气体一起进入出气管路，并在蒸发器上还安装有清洁回收系统。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏亿钶半导体设备有限公司 一种三甲基镓供应系统
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