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申请/专利权人：麦斯塔微电子(深圳)有限公司
摘要：本申请公开了一种MEMS谐振器，包括层叠设置的器件层和走线层，其中，器件层包括环形谐振子、连接梁、锚固件、第一电极和第二电极；环形谐振子被配置为多个并呈环形阵列排布，相邻的环形谐振子之间连接有连接梁，至少一连接梁与一位于环形阵列内的锚固件固定连接，每个环形谐振子内均设有与其间隙设置的第一电极，多个第二电极将环形阵列包围并与环形谐振子间隙设置；通过走线层的第一走线串联起各个第一电极，第二走线串联起各个第二电极，第三走线与锚固件连接，并且，第一走线被第二走线包围，减少了引线之间的相互交叉和干扰，降低了MEMS谐振器的走线难度，降低了走线的复杂性，便于MEMS谐振器的集成化设计。
主权项：1.一种MEMS谐振器，其特征在于，包括层叠设置的器件层和走线层，其中，所述器件层包括环形谐振子、连接梁、锚固件、第一电极以及第二电极；所述环形谐振子被配置为多个并呈环形阵列排布，相邻的环形谐振子之间连接有所述连接梁，至少一所述连接梁与一位于所述环形阵列内的所述锚固件固定连接，每个所述环形谐振子内均设有与其间隙设置的第一电极，多个第二电极将所述环形阵列包围并与所述环形谐振子间隙设置；所述走线层包括串联起各个第一电极的第一走线、串联起各个第二电极的第二走线以及与所述锚固件连接的第三走线，其中，所述第一走线、第二走线、第三走线错位设置，并且，所述第一走线被所述第二走线包围。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 MEMS谐振器
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