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申请/专利权人:合肥芯碁微电子装备股份有限公司
摘要:本发明公开了一种用于LDI设备的曝光面能量闭环控制方法,包括经过MCU进行5次数据平均值运算后通过串口把数字量信号传入到主控机中,PCB板卡同时接受4个能量探头传回来的数据,满足所有光路被采集到数据,数据处理模块反馈回来的电压是四个值,根据得到的数据拟合出一条线性的曲线,把得到的曲线设置为出厂设置,与出厂值进行比较,当激光器产生衰减时,同样的功率,照射的能量会衰减,此时反馈回来的电压值,也会降低,做一个对比完成自检,该用于LDI设备的曝光面能量闭环控制方法,解决了现有技术极大地影响了生产效率,不仅会浪费很多的人力,并且影响了生产的时间,造成成本过大的问题。
主权项:1.一种用于LDI设备的曝光面能量闭环控制方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:S1:激光器出光经过光路后到达能量采集装置中的能量探头反光镜,经过反光镜衰减功率后到达PD;S2:电流信号传入到信号处理装置中的板卡,通过运算放大器U9A把电流信号转换为电压信号;S3:通过运算放大器U9B进行放大信号后进入模数转化芯片,转为数字量信号,传入到MCU;S4:经过MCU进行5次数据平均值运算后通过串口把数字量信号传入到主控机中,PCB板卡同时接受4个能量探头传回来的数据,满足所有光路被采集到数据;S5:数据处理模块反馈回来的电压是四个值,根据得到的数据拟合出一条线性的曲线,把得到的曲线设置为出厂设置,与出厂值进行比较,当激光器产生衰减时,同样的功率,照射的能量会衰减,此时反馈回来的电压值,也会降低,做一个对比完成自检。
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百度查询: 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 一种用于LDI设备的曝光面能量闭环控制方法
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