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申请/专利权人：合肥精智达集成电路技术有限公司
摘要：本实用新型公开了一种半导体晶圆测试探针台，涉及探针台技术领域，包括底座，所述底座的顶部连接有基台，所述基台的顶部连接有载物台，通过设置的示数表、摆杆和配重箭头可以在装置出现倾斜时及时对工作人员进行提醒，通过第一齿筒和驱动齿轮构成的传动结构可以从侧面进行调节从而驱动螺纹支脚进行升降，从而帮助装置恢复到水平位置，保证了在进行检测时，探针可以与芯片上的接点进行准确的接触，提升了检测精度，在调整时工作人员不必将装置底部抬起进行调整，减轻了工作人员的操作负担，并且配重箭头可以在调整过程中提供了实时的参考，其结构简单，后期出现故障检修更换成本低，为工作人员提供了极大的便捷。
主权项：1.一种半导体晶圆测试探针台，包括底座1，所述底座1的顶部连接有基台2，所述基台2的顶部连接有载物台3；其特征在于：所述底座1的外侧设置有互相垂直的两组示数表10，所述示数表10的正面活动连接有摆杆11，所述摆杆11的底端连接有配重箭头12，所述示数表10的一侧活动连接有保护罩13；所述底座1的四角内部对称开设有收纳槽14，所述收纳槽14的内部活动连接有螺纹支脚15，所述螺纹支脚15的底端贯穿收纳槽14的底部连接有垫脚16，所述螺纹支脚15位于收纳槽14内部的外侧通过螺纹活动连接有第一齿筒17，所述第一齿筒17的外侧活动啮合有驱动齿轮18，所述螺纹支脚15顶部开设有方形槽19，所述方形槽19的内部设置有导向杆20，所述底座1的两侧对称设置有转柄21。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥精智达集成电路技术有限公司 一种半导体晶圆测试探针台
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