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申请/专利权人：大连理工大学;中国航空工业集团公司沈阳空气动力研究所

摘要：本发明涉及流速传感器制备技术领域，尤其涉及一种热线探针装配方法及装置。在热线探针热丝装配时，利用扁头针向探针杆两针尖之间的金属热丝运动，将热丝顶弯曲，通过控制扁头针的位移量来控制热丝的张紧度。通过将发热的电热丝与两探针杆针尖金属针接触，使热量传导至探针杆针尖，将针尖处的低温银浆固化实现金属热丝和探针杆针尖之间的连接，装配时温度较低不易损害热丝，且连接稳定可靠电阻小。解决了热线探针热丝装配时，金属热丝张紧度无法控制、焊接过程热丝断裂等问题，对提高热丝装配精度和可靠性具有重要意义。

主权项：1.一种热线探针装配装置，其特征在于，该热线探针装配装置包括电子显微镜（1）、热丝基底（2）、XYZ-R微调平台（3）、装配功能模块（4）和热线探针杆（5）；所述的电子显微镜（1）包括显微镜镜头（11）、底板（12）、微调聚焦头（13）和立柱（14）；立柱（14）通过螺纹安装于底板（12）上，微调聚焦头（13）固定在立柱（14）上，显微镜镜头（11）安装于微调聚焦头（13）上；通过调整微调聚焦头（13）来调整显微镜镜头（11）至基底（21）的距离，进行对焦；所述的热丝基底（2）包括基底（21）和金属热丝（22）；基底（21）上有阵列的沟槽（211），金属热丝（22）横跨于沟槽（211）上；所述的XYZ-R微调平台（3）包括Z轴旋转平台（31）、Y轴位移平台（32）、Z轴位移平台（33）和X轴位移平台（34）；X轴位移平台（34）位于最底层，作为水平基础；Y轴位移平台（32）垂直于X轴，安装于X轴位移平台（34）上；Z轴位移平台（33）垂直于XY轴平面，安装于Y轴位移平台（32）上；Z轴旋转平台（31）安装于Z轴位移平台（33）的最顶端；XYZ-R微调平台（3）通过螺栓安装于底板（12）上；装配时热丝基底（2）固定于XYZ-R微调平台（3）的台面上；所述的装配功能模块（4）包括银浆蘸取及张紧度调节模块（41）、支柱（42）、热传导固化银浆模块（43）、功能模块安装板（44）和探针固定模块（45）；银浆蘸取及张紧度调节模块（41）、热传导固化银浆模块（43）和探针固定模块（45）安装于功能模块安装板（44）上；功能模块安装板（44）通过两根支柱（42）安装于底板（12）上；所述的热线探针杆（5）包括折弯金属针（51）和探针固定块（52），探针固定块（52）表面上有定位平面（521），折弯金属针（51）位于探针固定块（52）的前端；装配时，热线探针杆（5）安装于探针固定模块（45）上。

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