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申请/专利权人：上海新昇半导体科技有限公司;上海新昇晶睿半导体科技有限公司
摘要：本申请提供一种拉晶炉拉晶控制方法、控制装置及电子设备，涉及半导体制备技术领域，拉晶控制方法包括：确定加热器初始电阻值、晶棒总长度及晶棒提拉单位长度；确定加热器的当前电阻值及加热器历史总运行时间；确定加热器当前电阻值与初始电阻值的电阻差值；基于电阻差值和加热器总使用时间，确定每个提拉长度段的温度补偿值并存储；在拉晶过程中，基于每个提拉长度段的温度补偿值，对每个提拉长度段生长过程中的加热器的预设温度进行补偿。本申请能实现对加热器老化过程的实时监控和提前预测，进行预先修正，降低缺陷出现概率，有助实现高效、稳定的晶体生长。
主权项：1.一种拉晶炉拉晶控制方法，其特征在于，包括：确定加热器初始电阻值、晶棒总长度及晶棒提拉单位长度；其中，基于晶棒提拉单位长度将晶棒总长度由上至下分为n个提拉长度段，记为，表示第n个提拉长度段；确定加热器的当前电阻值及加热器历史总运行时间；所述加热器历史总运行时间为加热器为以往运行时间的总和；确定加热器当前电阻值与初始电阻值的电阻差值；基于电阻差值和加热器总使用时间，确定每个提拉长度段的温度补偿值并存储；在拉晶过程中，基于每个提拉长度段的温度补偿值，对每个提拉长度段生长过程中的加热器的预设温度进行补偿；其中，所述基于电阻差值和加热器总使用时间，确定每个提拉长度段的温度补偿值的过程中，每个提拉长度段的温度补偿值的计算关系公式如下： ；其中，i=1、2、3……n；n表示晶棒被分成的提拉长度段的数量； 表示第i个提拉长度段的温度补偿值，单位为℃； 表示加热器历史总运行时间，单位为h； 表示加热器当前电阻值与初始电阻值的电阻差值，单位为mΩ； 表示晶棒总长度，单位为mm； 表示第i个提拉长度段距离晶棒顶端的距离，单位为mm； 为加热器补偿系数； 为温度修正系数。
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百度查询： 上海新昇半导体科技有限公司 上海新昇晶睿半导体科技有限公司 拉晶炉拉晶控制方法、控制装置及电子设备
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