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一种晶棒视觉定位机构 

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申请/专利权人:东莞市鼎力自动化科技有限公司

摘要:本实用新型涉及硅片加工技术领域,尤其涉及一种晶棒视觉定位机构,包括有支撑架体和用于承载若干晶棒的托盘,在支撑架体上装设有用于调节晶棒位置的第一推料机构和第二推料机构,且第一推料机构和第二推料机构相对设置,在托盘上固定设有用于对晶棒进行定位的定位板,且在支撑架体上还装设有推动方向与第一推料机构的推动方向垂直的第三推料机构;在支撑架体上设有固定架,且在固定架上活动地设有用于寻找调缝位置和测量缝隙距离的拍摄机构;在各个机构的配合下,不仅拍摄出若干晶棒的总长度,从而实现了晶棒之间缝隙距离的自动调整,还防止出现推力过大,从而损坏晶棒。

主权项:1.一种晶棒视觉定位机构,其特征在于:包括有支撑架体1和用于承载若干晶棒的托盘4,在支撑架体1上装设有用于调节晶棒位置的第一推料机构5和第二推料机构6,且第一推料机构5和第二推料机构6相对设置,在托盘4上固定设有用于对晶棒进行定位的定位板401,且在支撑架体1上还装设有推动方向与第一推料机构5的推动方向垂直的第三推料机构7;在支撑架体1上设有固定架8,且在固定架8上活动地设有用于寻找调缝位置和测量缝隙距离的拍摄机构9。

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