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申请/专利权人：鹏城实验室;华南理工大学

摘要：本发明涉及光通信技术领域，尤其涉及一种差分驱动薄膜铌酸锂电光调制器芯片，该差分驱动薄膜铌酸锂电光调制器芯片包括：第一波导、设置在第一波导两侧的第一差分电极对、第二波导和设置在第二波导两侧的第二差分电极对；第一差分电极对和第二差分电极对均与信号发生器连接；第一差分电极对响应信号发生器产生的一对差分信号生成第一电场，以使第一波导根据第一电场进行调制；第二差分电极对响应信号发生器产生的一对差分信号生成第二电场，以使第一波导根据第二电场进行调制；第一电场的方向与第二电场的方向相反。本发明通过采用上下对称的电极结构接入一对差分信号分别对两个光波导进行调制，降低电光调制的驱动电压，大幅降低了器件功耗。

主权项：1.一种差分驱动薄膜铌酸锂电光调制器芯片，其特征在于，所述差分驱动薄膜铌酸锂电光调制器芯片包括：第一波导、设置在所述第一波导两侧的第一差分电极对、第二波导和设置在所述第二波导两侧的第二差分电极对；其中，所述第一差分电极对和所述第二差分电极对分别与信号发生器连接；所述第一差分电极对，用于响应所述信号发生器产生的第一对差分信号，生成第一电场，以使所述第一波导根据所述第一电场进行调制；所述第二差分电极对，用于响应所述信号发生器产生的第二对差分信号，生成第二电场，以使所述第二波导根据所述第二电场进行调制；所述第一电场的方向与所述第二电场的方向相反；其中，所述第一差分电极对包括：第一地电极、第二地电极；所述第二差分电极对包括：第三地电极和第四地电极；所述第一地电极设置在所述第一波导远离所述第二波导的一侧，所述第二地电极设置在所述第一波导靠近所述第二波导的一侧；其中，所述第一差分电极对包括：第一PAD正电极、第一PAD负电极、第一行波正电极和第一行波负电极；所述第二差分电极对包括：第二PAD正电极、第二PAD负电极、第二行波正电极和第二行波负电极；所述第一PAD正电极同时与所述第一行波正电极以及所述信号发生器连接，所述第一PAD负电极同时与所述第一行波负电极以及所述信号发生器连接；所述第二PAD正电极同时与所述第二行波正电极以及所述信号发生器连接，所述第二PAD负电极同时与所述第二行波负电极以及所述信号发生器连接；所述第一差分电极对还包括：第一差模电阻；所述第二差分电极对还包括：第二差模电阻；所述第一差模电阻的一端与所述第一行波正电极连接，所述第一差模电阻的另一端与所述第一行波负电极连接；所述第二差模电阻的一端与所述第二行波正电极连接，所述第二差模电阻的另一端与所述第二行波负电极连接；其中，所述第一差分电极对还包括：第一共模电阻和第二共模电阻；所述第二差分电极对还包括：第三共模电阻和第四共模电阻；所述第一地电极的第一端接收所述信号发生器产生的地信号，所述第一地电极的第二端与所述第一行波负电极的第二端通过所述第一共模电阻连接，所述第二地电极的第一端接收所述信号发生器产生的地信号，所述第二地电极的第二端与所述第一行波正电极的第二端通过所述第二共模电阻连接；所述第三地电极的第一端接收所述信号发生器产生的地信号，所述第三地电极的第二端与所述第二行波正电极的第二端通过所述第三共模电阻连接，所述第四地电极的第一端接收所述信号发生器产生的地信号，所述第四地电极的第二端与所述第二行波负电极的第二端通过所述第四共模电阻连接；其中，所述差分驱动薄膜铌酸锂电光调制器芯片还包括：多个微电极对；各所述微电极对设置在所述第一差分电极对之间以及所述第二差分电极对之间。

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