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申请/专利权人：吉林大学

摘要：一种基于电光聚合物铌酸锂薄膜异质集成波导的MZI型电光调制器及其制备方法，属于平面光波导光调制器及其制备技术领域.从下至上依次由硅衬底、二氧化硅氧化层、铌酸锂平板层、脊型结构铌酸锂芯层和电光聚合物上包层组成；脊型结构铌酸锂芯层由输入直波导、输入锥形波导、第一弯曲波导和第二弯曲波导、第一调制臂直波导和第二调制臂直波导、第三弯曲波导和第四弯曲波导、输出锥形波导、输出直波导组成；在第一调制臂直波导和第二调制臂直波导外侧和内侧的铌酸锂平板层之上分别制备接地电极和信号电极。本发明有效的降低了调制器的调制效率、减小了器件的尺寸，与半导体工艺兼容，能够实现大规模集成和生产，具有重要的实际应用价值。

主权项：1.一种基于电光聚合物铌酸锂薄膜异质集成波导的MZI型电光调制器，其特征在于：从下至上依次由硅衬底1、二氧化硅氧化层2、铌酸锂平板层3、脊型结构铌酸锂芯层4和电光聚合物上包层5组成；电光聚合物上包层5位于铌酸锂平板层3和脊型结构铌酸锂芯层4之上，脊型结构铌酸锂芯层4被完成包覆在电光聚合物上包层5之中；脊型结构铌酸锂芯层4从左到右沿光输入方向，依次由输入直波导14、输入锥形波导12、结构相同的第一弯曲波导15和第二弯曲波导15’、结构相同且相互平行的第一调制臂直波导8和第二调制臂直波导9、结构相同的第三弯曲波导16和第四弯曲波导16’、输出锥形波导13、输出直波导17组成；在第一调制臂直波导8和第二调制臂直波导9外侧的铌酸锂平板层3之上分别对称制备有长条形结构的第一接地电极11和第二接地电极11’，在第一调制臂直波导8和第二调制臂直波导9内侧的铌酸锂平板层3之上制备有矩形结构的信号电极10；第一弯曲波导15和第三弯曲波导16关于第一调制臂直波导8对称设置，第二弯曲波导15’和第四弯曲波导16’关于第二调制臂直波导9对称设置，第一接地电极11和第二接地电极11’关于信号电极10对称设置；输入直波导14、输入锥形波导12、第一弯曲波导15和第二弯曲波导15’构成3-dBY分束器，第三弯曲波导16和第四弯曲波导16’、输出锥形波导13、输出直波导17构成3-dBY合束器；聚合物上包层5的材料为掺有生色团分子的电光聚合物，其折射率低于铌酸锂的折射率。

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百度查询： 吉林大学 一种基于电光聚合物/铌酸锂薄膜异质集成波导的MZI型电光调制器及其制备方法