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申请/专利权人：常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力光电材料有限公司
摘要：本发明公开一种高产酸的酰亚胺磺酸酯类光产酸剂、含有该光产酸剂的感光性树脂组合物及其应用。所述酰亚胺磺酸酯类光产酸剂具有如下通式A1或A2所示结构，其感光度高，溶解性、热稳定性且储存稳定性好，应用于半导体光刻胶组合物时性能优异。
主权项：1.一种酰亚胺磺酸酯类光产酸剂，具有如下通式A1或A2所示结构： 其中，R1选自C1-C8的直链或支链的全氟代烷基；R2、R3、R4和R4”可相同也可不同，各自独立地选自下列基团：氢；硝基；C1-C10的直链或支链的烷基；C2-C6的直链或支链的炔基；R1’-CO-，其中R1’表示C1-C6的烷基、苯基，且任选地，苯基中的至少一个氢原子可以被C1-C4的烷基或C1-C4的烷氧基所取代；R4’-O-CO-R5’-，其中R4’表示C1-C6的烷基，R5’表示C1-C6的亚烷基或空；前提是，通式A1中，R2、R3和R4不同时为氢；通式A2中，R2、R3和R4”不同时为氢。
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百度查询： 常州强力先端电子材料有限公司 常州强力电子新材料股份有限公司 常州强力光电材料有限公司 一种高产酸的酰亚胺磺酸酯类光产酸剂、组合物及应用
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