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申请/专利权人：恩特格里斯公司
摘要：本发明提供一种利用呈粉末形式的碘化锂且通过叔胺催化，由三氯硅烷制备某些硅烷前体化合物，例如三碘硅烷的方法。所述方法以高产率和高纯度提供三碘硅烷。三碘硅烷是可用于将硅原子层沉积到各种微电子装置结构上的前体化合物。
主权项：1.一种用于制备式R1ySiIz的化合物的方法，其中每个R1独立地选自氢、C1-C9烷基、乙烯基或C2-C4炔基，y是0、1、2或3，且z是1、2、3或4，且其中y+z等于4，所述方法包含使式R1ySiClz的化合物与碘化锂在叔胺的存在下接触，其中所述碘化锂呈平均粒径小于2mm的粉末形式，其中所述叔胺具有下式： 其中每个R独立地为C1-C9烷基，m是1到4的整数，且n是2到5的整数。
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