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申请/专利权人：宁波元芯光电子科技有限公司
摘要：本发明公开了一种悬空波导支撑结构，包括由下至上依次设置的牺牲层、下包层、波导芯层和上包层，所述悬空波导支撑结构整体形成有脊波导，其特征在于：所述脊波导宽度方向的两侧分别开设有支撑凹槽，所述脊波导宽度方向的两侧还分别开设有掏空凹槽，所述支撑凹槽包括主体凹槽，所述主体凹槽的底端向下超过牺牲层，位于脊波导同一侧的支撑凹槽的主体凹槽和掏空凹槽沿着脊波导的延伸方向间隔布置，位于脊波导两侧对应的主体凹槽之间的牺牲层、位于脊波导两侧对应的掏空凹槽之间的牺牲层均腐蚀而成空气层，所述悬空波导支撑结构的上表面在掏空凹槽之外的部分覆盖有介质膜。还公开了一种悬空波导支撑结构的制作方法。
主权项：1.一种悬空波导支撑结构，包括由下至上依次设置的牺牲层4、下包层3、波导芯层2和上包层1，所述悬空波导支撑结构整体形成有脊波导6，其特征在于：所述脊波导6宽度方向的两侧分别开设有掏空凹槽9，所述掏空凹槽9与脊波导6间隔布置，所述掏空凹槽9的底端向下达到或超过牺牲层4，位于脊波导6两侧对应的掏空凹槽9之间的牺牲层4腐蚀而成空气层10，所述悬空波导支撑结构的上表面在掏空凹槽9之外的部分覆盖有介质膜7，所述脊波导6宽度方向的两侧还分别开设有支撑凹槽8，所述支撑凹槽8的底端分别向下超过牺牲层4，所述支撑凹槽8与脊波导6间隔布置；所述支撑凹槽8包括相间布置的主体凹槽81和连接凹槽82，从而使得支撑凹槽8构成凹凸的齿状，所述主体凹槽81构成向脊波导6凸起的齿，所述掏空凹槽9位于连接凹槽82和脊波导6之间，位于脊波导6两侧对应的主体凹槽81之间的牺牲层4腐蚀而成空气层10。
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百度查询： 宁波元芯光电子科技有限公司 一种悬空波导支撑结构及其制作方法
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