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申请/专利权人：浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司
摘要：本公开一种修复衬底的warp值的设备及方法，包括支撑架、位移台、传感器、激光雕刻头和中控系统；支撑架用于安装传感器和激光雕刻头；位移台上端具有承接面，承接面适于放置衬底，承接面能够沿设备的第一方向和第二方向移动，第一方向与第二方向相交；传感器适于检测衬底的warp值；激光雕刻头适于对衬底进行雕刻；中控系统用于接收并处理传感器检测的数据，并用于控制激光雕刻头的工作和用于控制位移台在第一方向和或第二方向上的移动。设置传感器和激光雕刻头，可以检测和修复晶棒在多线切割结束后的衬底的warp值，提高衬底的warp值的一致性，从而减少由于切割过程中产生的衬底的warp值超规导致产品降级或报废的问题。
主权项：1.一种修复衬底的warp值的设备，其特征在于，包括支撑架、位移台、传感器、激光雕刻头和中控系统；所述支撑架用于安装所述传感器和所述激光雕刻头；所述位移台上端具有承接面，所述承接面适于放置衬底，所述承接面能够沿设备的第一方向和第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向相交；所述传感器适于检测衬底的warp值；所述激光雕刻头适于对衬底进行雕刻修复；所述中控系统用于接收并处理所述传感器检测的数据，并用于控制所述激光雕刻头的工作和用于控制所述位移台在所述第一方向和或所述第二方向上的移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江兆晶新材料科技有限公司 北京中企祥科技有限公司 修复衬底的warp值的设备及方法
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