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申请/专利权人：索泰克公司
摘要：本发明涉及一种将薄层转移到支撑衬底上的方法，该方法包括以下步骤：‑提供粘结结构，该粘结结构包括通过沿着粘结界面在其相应正面处直接粘结而组装的供体衬底和该支撑衬底，该供体衬底包括内埋易碎平面，‑对该粘结结构施加断裂热处理以引起沿着该内埋易碎平面的自发分离，该自发分离与通过热活化在所述平面中的微裂纹的生长相关联，该分离导致薄层从该供体衬底转移到该支撑衬底。该方法的特征在于，该断裂热处理表现出：‑至少在低于250℃的初始温度与大于或等于500℃的平台温度之间，超过1℃s的升温速率，以及‑使得该粘结结构在中心区域与周边区域之间经受在40℃与120℃之间变化的温度梯度的温度曲线。
主权项：1.一种用于将薄膜10转移到支撑衬底2上的方法，所述方法包括以下步骤：-提供粘结结构100，所述粘结结构包括通过沿着粘结界面3在其相应正面1a,2a处直接粘结而组装的供体衬底1和所述支撑衬底2，所述供体衬底1包括内埋易碎平面11，-对所述粘结结构100施加断裂热处理以引起沿着所述内埋易碎平面11的自发分离，所述自发分离与通过热活化在所述平面11中的微裂纹的生长相关联，所述分离导致薄膜10从所述供体衬底1转移到所述支撑衬底2上，所述方法的特征在于所述断裂热处理具有：-至少在低于250℃的初始温度与大于或等于500℃的平台温度之间，超过1℃s的升温速率，以及-使得所述粘结结构100在中心区域与周边区域之间经受在40℃与120℃之间变化的温度梯度的温度曲线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 索泰克公司 用于将薄层转移到支撑衬底上的方法
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