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申请/专利权人：南京特佰瑞电子科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种金刚石衬底GaN器件的载片涂敷装置，包括底部承载台，所述横向滑动台的前端固定连接有喷涂枪，所述喷涂枪的底部设置有涂敷喷嘴，所述传送带的底端设置有物料高度调节机构。该金刚石衬底GaN器件的载片涂敷装置通过设置有钢制滑套、滑动限位杆、电缸和承托板，使用时，GaN器件的载片等间距水平摆放在治具上，根据载片的实际厚度，可以调整其高度，电缸向上延伸或向下回缩，可以带动传送带底部的承托板上下位移，在承托板上下位移的过程中，承托板底部的滑动限位杆沿着钢制滑套的内部上下滑动，使高度调整更加平稳顺滑，实现了便于调整物料高度的功能，解决的是装置不具备便于调整物料高度的功能的问题。
主权项：1.一种金刚石衬底GaN器件的载片涂敷装置，包括底部承载台1，其特征在于：所述底部承载台1顶部的两侧分别固定连接有侧边支撑架7，所述侧边支撑架7的顶部安装有纵向伺服驱动机构8，所述纵向伺服驱动机构8的顶端设置有纵向滑动台9，两组所述纵向滑动台9的一侧之间横向固定连接有横向支撑板10，所述横向支撑板10的顶端安装有横向伺服驱动机构11，所述横向伺服驱动机构11的顶端安装有横向滑动台12，所述横向滑动台12的前端固定连接有喷涂枪13，所述喷涂枪13的底部设置有涂敷喷嘴14，所述横向支撑板10的下方设置有传送带6，所述底部承载台1顶部的前端设置有第一横向支撑架15，所述底部承载台1顶部的后端设置有第二横向支撑架18，所述传送带6的底端设置有物料高度调节机构；所述物料高度调节机构包括四组钢制滑套2，四组所述钢制滑套2分别固定连接在底部承载台1内部的两侧，所述底部承载台1的上方设置有承托板5，所述承托板5底部的四个拐角处分别竖向固定连接有滑动限位杆3，所述底部承载台1底部的前后两端分别安装有两组电缸4。
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权利要求：
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