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蓝宝石衬底抛光液的混合系统 

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申请/专利权人:浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司

摘要:本公开涉及一种蓝宝石衬底抛光液的混合系统,包括制备容器、储藏容器和流体输送装置,制备容器内形成有用于容纳液体的搅拌腔,制备容器上形成有与搅拌腔连通的第一进液口、第一出液口以及加液口,加液口用于添加抛光原液,储藏容器内形成有用于容纳强碱性溶液的存储腔,储藏容器上形成有与存储腔连通的第二出液口,流体输送装置的输入端与第二出液口连接,流体输送装置的输出端与第一进液口连接。可以利用流体输送装置将储藏容器内的强碱性溶液从储藏容器的第二出液口吸出,并经由制备容器的第一进液口输送至制备容器的内部与抛光原液混合。这样可以取代人工操作,从而达到节约人员成本以及安全输送的目的。

主权项:1.一种蓝宝石衬底抛光液的混合系统,其特征在于,包括:制备容器,所述制备容器内形成有用于容纳液体的搅拌腔,所述制备容器上形成有与所述搅拌腔连通的第一进液口、第一出液口以及加液口,所述加液口用于添加抛光原液;储藏容器,所述储藏容器内形成有用于容纳强碱性溶液的存储腔,所述储藏容器上形成有与所述存储腔连通的第二出液口;流体输送装置,所述流体输送装置的输入端与所述第二出液口连接,所述流体输送装置的输出端与所述第一进液口连接。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 浙江兆晶新材料科技有限公司 北京中企祥科技有限公司 蓝宝石衬底抛光液的混合系统

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