龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明涉及一种衬底保持装置及具备衬底保持装置的衬底处理装置。在衬底保持装置中，所述装置包含以下要件。具备3个以上保持部，所述3个以上保持部分别包含旋转台、基座部及位置限制部，空出间隔配置在所述旋转台上的外周部。至少1个保持部具备：转动基座部，所述基座部能绕纵向的轴芯转动；转动位置限制部，所述位置限制部限制所述旋转台的所述衬底在水平方向的位置；转动机构，将所述转动位置限制部在第1状态与第2状态间切换；及推出部件，在为所述第1状态时，与所述衬底分开，在切换为所述第2状态时，将所述衬底朝离开所述位置限制部的方向推出。
主权项：1.一种衬底保持装置，保持衬底而使衬底旋转，所述装置包含以下要件：具备：旋转台，在水平面内旋转；及3个以上保持部，分别包含基座部，及从所述基座部朝上方突出设置，通过与所述衬底的外周缘抵接而限制所述旋转台的所述衬底在水平方向的位置的位置限制部，且空出间隔配置在所述旋转台上的外周部；且所述3个以上保持部内的至少1个保持部具备：转动基座部，所述基座部能绕纵向的轴芯转动；转动位置限制部，所述位置限制部在俯视时离开所述轴芯的位置向所述衬底的外周缘突出设置，伴随所述转动基座部的转动动作而与所述衬底的外周缘抵接，由此限制所述旋转台的所述衬底在水平方向的位置；转动机构，通过使所述转动基座部转动，而将所述转动位置限制部在第1状态与第2状态间切换，所述第1状态使所述转动位置限制部与所述衬底的外周缘抵接而保持所述衬底，所述第2状态与所述衬底的外周缘分开而将所述衬底打开；及推出部件，在所述转动基座部上向所述衬底的外周缘突出设置，在所述转动位置限制部为所述第1状态时，与所述衬底分开，在所述转动位置限制部从所述第1状态切换为所述第2状态时，与所述衬底的外周缘抵接，将所述衬底朝离开所述位置限制部的方向推出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 衬底保持装置及具备衬底保持装置的衬底处理装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号