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申请/专利权人：三一硅能(株洲)有限公司
摘要：本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种叠层钝化膜层结构及其制备方法与应用。所述叠层钝化膜层结构包括在硅片基体的表面沉积有至少两层接触设置的氧化铝膜层；沿所述硅片基体到所述氧化铝膜层，所述氧化铝膜层的厚度呈梯度增加，所述氧化铝膜层的致密度呈梯度降低。本发明通过优化叠层钝化膜层结构，形成致密度梯度增加且厚度梯度降低的叠层氧化铝膜层结构，底层形成钝化效果好的高质量氧化铝膜层，中上层形成稀疏氧化铝膜层，有利于后续提升烧结接触性能。
主权项：1.一种叠层钝化膜层结构，其特征在于，包括：在硅片基体的表面沉积有至少两层接触设置的氧化铝膜层；沿所述硅片基体到所述氧化铝膜层，所述氧化铝膜层的厚度呈梯度增加，所述氧化铝膜层的致密度呈梯度降低。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三一硅能(株洲)有限公司 一种叠层钝化膜层结构及其制备方法与应用
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