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申请/专利权人:合肥新汇成微电子股份有限公司
摘要:本发明公开了Chuck盘快速降温装置,包括安装板,安装板的上端面固定有多个散热片,每个散热片的下端面均固定有制冷片,安装板的上端面贯穿开设有多个配合制冷片使用的通槽一,安装板的下端面固定有制冷底板,每个散热片上均设置有排风组件,安装板的上端面固定有上护罩,上护罩的上端面开设有多个排风口,上护罩的上端面对称设置有两个把手组件,上护罩的上端面固定贯穿设置有电源插口和蜂鸣器;本发明在使用时,可对Chuck盘进行快速降温,大幅度缩短降温时间,减少等候时间。
主权项:1.Chuck盘快速降温装置,包括安装板1,其特征在于,所述安装板1的上端面固定有多个散热片2,安装板1的上端面开设有多个配合散热片2使用的下沉槽,每个散热片2的下端面均固定有制冷片3,安装板1的下端面贯穿开设有多个配合制冷片3使用的通槽一,安装板1的下端面固定有制冷底板4,每个散热片2上均设置有排风组件,安装板1的上端面固定有上护罩5,上护罩5的上端面开设有多个排风口6,上护罩5的上端面对称设置有两个把手组件,上护罩5的上端面固定贯穿设置有电源插口7和蜂鸣器8。
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百度查询: 合肥新汇成微电子股份有限公司 Chuck盘快速降温装置
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