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申请/专利权人：合肥新汇成微电子股份有限公司
摘要：本发明公开了Chuck盘快速降温装置，包括安装板，安装板的上端面固定有多个散热片，每个散热片的下端面均固定有制冷片，安装板的上端面贯穿开设有多个配合制冷片使用的通槽一，安装板的下端面固定有制冷底板，每个散热片上均设置有排风组件，安装板的上端面固定有上护罩，上护罩的上端面开设有多个排风口，上护罩的上端面对称设置有两个把手组件，上护罩的上端面固定贯穿设置有电源插口和蜂鸣器；本发明在使用时，可对Chuck盘进行快速降温，大幅度缩短降温时间，减少等候时间。
主权项：1.Chuck盘快速降温装置，包括安装板1，其特征在于，所述安装板1的上端面固定有多个散热片2，安装板1的上端面开设有多个配合散热片2使用的下沉槽，每个散热片2的下端面均固定有制冷片3，安装板1的下端面贯穿开设有多个配合制冷片3使用的通槽一，安装板1的下端面固定有制冷底板4，每个散热片2上均设置有排风组件，安装板1的上端面固定有上护罩5，上护罩5的上端面开设有多个排风口6，上护罩5的上端面对称设置有两个把手组件，上护罩5的上端面固定贯穿设置有电源插口7和蜂鸣器8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥新汇成微电子股份有限公司 Chuck盘快速降温装置
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