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申请/专利权人：昆山捷发电子材料有限公司
摘要：本实用新型涉及Chuck盘领域，公开了一种曝光机Chuck盘，包括底板，所述底板的上表面中心处固定连接有放置盘，所述放置盘的上表面开设有凹槽，所述底板的一端开设有抽气孔，所述底板的上表面四角处开设有安装孔，所述安装孔的内壁滑动连接有夹持机构，所述夹持机构包括连接槽、滑杆与固定板，所述安装孔的上表面开设有连接槽，所述安装孔的内壁滑动连接有滑杆，所述滑杆的外壁固定连接有固定板，所述固定板滑动连接在连接槽的内壁。本实用新型中，将晶圆放置在放置盘上，而后将抽气泵连接抽气孔，抽气泵将空气抽出，晶圆与放置盘形成负压，通过这种设计达到了方便将晶圆固定在放置盘上的效果。
主权项：1.一种曝光机Chuck盘，包括底板1，其特征在于：所述底板1的上表面中心处固定连接有放置盘2，所述放置盘2的上表面开设有凹槽3，所述底板1的一端开设有抽气孔4，所述底板1的上表面四角处开设有安装孔5，所述安装孔5的内壁滑动连接有夹持机构，所述夹持机构包括连接槽6、滑杆7与固定板8，所述安装孔5的上表面开设有连接槽6，所述安装孔5的内壁滑动连接有滑杆7，所述滑杆7的外壁固定连接有固定板8，所述固定板8滑动连接在连接槽6的内壁。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 昆山捷发电子材料有限公司 一种曝光机Chuck盘
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