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申请/专利权人：宁波九纵智能科技有限公司
摘要：本实用新型涉及激光对位领域，具体地说，涉及一种用于晶圆检测过程中chuck与镜头激光对位组件。其包括对位组件主体，对位组件主体包括水平放置于chuck表面的第一对位部和安装于镜头处的第二对位部；第一对位部的内部设置有激光源，激光源所发射激光形成的激光光路与chuck表面垂直；第二对位部处沿激光光路延伸方向依次设有多重反射区域和光斑观察区域，多重反射区域环绕于激光光路的四周。本实用新型通过光斑观察区域能够较直观且准确地确定校准结果，同时第二对位部和第一对位部可分别与底座和镜头配合，从而能够对于不同位置的镜头进行校准；从而能够保证本实用新型具有较高的准确性和适用性。
主权项：1.一种用于晶圆检测过程中chuck与镜头激光对位组件，其特征在于：包括对位组件主体100，对位组件主体100包括水平放置于chuck表面的第一对位部110和安装于镜头处的第二对位部120；第一对位部110的内部设置有激光源，激光源所发射激光形成的激光光路与chuck表面垂直；第二对位部120处沿激光光路延伸方向依次设有多重反射区域和光斑观察区域，多重反射区域环绕于激光光路的四周。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波九纵智能科技有限公司 一种用于晶圆检测过程中chuck与镜头激光对位组件
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