龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：湖北芯洁电子科技有限公司
摘要：本实用新型提供一种E‑Chuck清洗治具。所述E‑Chuck清洗治具包括清洗台，清洗台上表面开设有清洗槽，清洗槽上方通过螺栓固定连接有密封盖，清洗槽底部开设有三组通孔，三组通孔分别是进气口、进水口以及排污口，清洗槽内部放置有若干组密封胶。本实用新型，通过增设清洗台，清洗台上表面开设有清洗槽，清洗槽底部开设有三组通孔，分别为进气口、进水口以及排污口，且三组通孔外沿均开设有密封槽，密封槽内粘贴有密封圈，清洗槽边缘处一体连接有遮挡沿，遮挡沿上表面粘贴有密封环，清洗槽内不同位置设置有若干组密封胶，通过密封圈、密封环以及密封胶能够在清洗静电卡盘时形成良好的密封环境，便于利用气压对静电卡盘进行去污清洗。
主权项：1.一种E-Chuck清洗治具，包括：清洗台1，其特征在于，所述清洗台1为方形结构，清洗台1上表面开设有清洗槽5，清洗槽5上方通过螺栓固定连接有密封盖2，清洗槽5底部开设有三组通孔，三组通孔分别是进气口7、进水口9以及排污口8，清洗槽5内部放置有若干组密封胶6。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北芯洁电子科技有限公司 一种E-Chuck清洗治具
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号