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申请/专利权人：淄博绿能芯创电子科技有限公司
摘要：本实用新型提供了一种涉及晶圆防护技术领域的ChuckPin防止晶圆破损结构，包括防止晶圆破损结构、ChuckPin以及晶圆，防止晶圆破损结构位于ChuckPin顶端，晶圆限位于ChuckPin上，且防止晶圆破损结构位于晶圆的边缘上方。本实用新型通过防止晶圆破损结构可以限制晶圆向上移动超出范围而发生破损，把晶圆限制在安全位置内，在高速转动过程中不会因离心力问题而转出安全位置；尤其适用于气压不稳的用户，可以有效弥补因气压不稳伯努利原理而带来的破片风险，从而使得本发明具有减少破片、减少损失、提升设备稳定性的功能。
主权项：1.一种ChuckPin防止晶圆破损结构，其特征在于，包括防止晶圆破损结构1、ChuckPin2以及晶圆3，所述防止晶圆破损结构1呈圆形，所述防止晶圆破损结构1位于所述ChuckPin2顶端，所述ChuckPin2与所述防止晶圆破损结构1一一对应连接，所述防止晶圆破损结构1与所述ChuckPin2顶部圆柱角度为90°-180°，所述晶圆3限位于所述ChuckPin2上，且所述防止晶圆破损结构1位于所述晶圆3的边缘上方，所述防止晶圆破损结构1与所述晶圆3平行。
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权利要求：
百度查询： 淄博绿能芯创电子科技有限公司 Chuck Pin防止晶圆破损结构
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