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一种硅片脱胶支撑装置 

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申请/专利权人:扬州晶樱光电科技有限公司

摘要:本实用新型涉及一种硅片脱胶支撑装置,包括两个端板、若干根横梁、底板、若干个支撑组件和若干个限位组件;两个端板沿第一方向相对设置,若干根横梁沿第一方向平行设置于两个端板之间,若干根横梁的两端部固定连接两个端板;每个端板上均开设有若干个迷宫滑道,迷宫滑道包括若干个凹槽和连接若干个凹槽的滑道;底板位于若干根横梁的下方,固定连接两个端板;若干个支撑组件沿第一方向设置于两个端板之间;支撑组件的端部位于迷宫滑道内;限位组件可拆卸连接支撑组件的两端部;限位组件包括:垫片和轴用挡圈;垫片和轴用挡圈均连接支撑组件的端部,垫片位于轴用挡圈和端板之间;待脱胶晶托装置放置于横梁上,待脱胶硅片位于若干个支撑组件之间。

主权项:1.一种硅片脱胶支撑装置,其特征在于,包括:两个端板100、若干根横梁200、底板300、若干个支撑组件400和若干个限位组件500;所述两个端板100沿第一方向相对设置,所述若干根横梁200沿所述第一方向平行设置于所述两个端板100之间,所述若干根横梁200的两端部固定连接所述两个端板100;每个所述端板100上均开设有若干个迷宫滑道,所述迷宫滑道包括若干个凹槽和连接所述若干个凹槽的滑道;所述底板300位于所述若干根横梁200的下方,所述底板300固定连接所述两个端板100;所述若干个支撑组件400沿所述第一方向设置于所述两个端板100之间;所述支撑组件400的端部位于所述迷宫滑道内;所述限位组件500可拆卸连接所述支撑组件400的两端部;其中,所述限位组件500包括:垫片510和轴用挡圈520;所述垫片510和所述轴用挡圈520均连接所述支撑组件400的端部,所述垫片510位于所述轴用挡圈520和所述端板100之间;待脱胶晶托装置放置于所述横梁200上,待脱胶硅片位于所述若干个支撑组件400之间。

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