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申请/专利权人:科尔迅智能科技(深圳)有限公司
摘要:本发明公开了一种单晶体硅片倒装设备,其包括有机台,机台上设有治具机构、硅片供料机构、硅片取放料机构、石墨纸供料机构、石墨纸取放料机构、挡环供料机构、挡环与成品取放料机构和成品集料机构,硅片取放料机构用于从硅片供料机构拾取硅片并放置于治具机构上;石墨纸供料机构用于放置石墨纸;石墨纸取放料机构用于从石墨纸供料机构拾取石墨纸并放置于治具机构上的硅片上;挡环供料机构用于放置挡环;挡环与成品取放料机构用于从挡环供料机构拾取挡环并放置于治具机构上的硅片和石墨纸外侧,以及拾取治具机构上加工完成的成品并放置于成品集料机构。本发明结构合理、集成度高、成本低廉、易于实现联动控制。
主权项:1.一种单晶体硅片倒装设备,其特征在于,包括有机台,所述机台上设有治具机构、硅片供料机构、硅片取放料机构、石墨纸供料机构、石墨纸取放料机构、挡环供料机构、挡环与成品取放料机构和成品集料机构,其中:所述硅片供料机构用于放置硅片;所述硅片取放料机构用于从所述硅片供料机构拾取所述硅片并放置于所述治具机构上;所述石墨纸供料机构用于放置石墨纸;所述石墨纸取放料机构用于从所述石墨纸供料机构拾取所述石墨纸并放置于所述治具机构上的所述硅片上;所述挡环供料机构用于放置挡环;所述挡环与成品取放料机构用于从所述挡环供料机构拾取所述挡环并放置于所述治具机构上的所述硅片和所述石墨纸外侧,以及拾取所述治具机构上加工完成的成品并放置于所述成品集料机构;所述治具机构包括有治具支架、治具载台和中心圆台,所述治具支架固定于所述机台上,所述治具载台设于所述治具支架的上端,所述中心圆台嵌设于所述治具载台的中间处;所述硅片供料机构包括有硅片料框、硅片升降板以及硅片升降驱动机构,所述硅片升降驱动机构固定于所述机台上,所述硅片升降板固定于所述硅片升降驱动机构的升降运动端,所述硅片料框固定于所述硅片升降板上,所述硅片料框朝向所述硅片取放料机构的一侧形成有硅片取料口;所述硅片取放料机构包括有硅片横移驱动机构、硅片翻转机构和硅片吸板,所述硅片横移驱动机构固定于所述机台上,所述硅片翻转机构固定于所述硅片横移驱动机构的平移运动端,所述硅片吸板固定于所述硅片翻转机构的翻转运动端,所述硅片横移驱动机构用于驱使所述硅片翻转机构运动以令所述硅片吸板进出所述硅片供料机构,所述硅片吸板用于吸取所述硅片供料机构内的硅片,所述硅片翻转机构用于驱使所述硅片吸板翻转180°,进而将所述硅片放置于所述治具机构上;所述石墨纸供料机构包括有石墨纸升降机构、石墨纸升降载台、多个石墨纸挡料杆和石墨纸固定平台,所述石墨纸固定平台与所述机台固定连接,所述石墨纸升降机构固定于所述石墨纸固定平台上,所述石墨纸升降载台安装于所述石墨纸升降机构的升降运动端,多个石墨纸挡料杆均固定于所述石墨纸固定平台上,且多个石墨纸挡料杆均匀分布于所述石墨纸升降载台的周围;所述石墨纸取放料机构包括有石墨纸取放支架、石墨纸升降支臂、石墨纸升降支臂驱动机构、摆臂驱动机构和摆臂,所述石墨纸取放支架与所述机台固定连接,所述石墨纸升降支臂驱动机构与所述石墨纸取放支架固定连接,所述石墨纸升降支臂安装于所述石墨纸升降支臂驱动机构的升降运动端,所述摆臂驱动机构固定于所述石墨纸升降支臂上,所述摆臂安装于所述摆臂驱动机构的摆动运动端,所述摆臂上固定有多个用于吸取石墨纸的吸嘴;所述挡环供料机构包括有挡环升降机构、挡环升降载台、多个挡环挡料杆和挡环固定平台,所述挡环固定平台与所述机台固定连接,所述挡环升降机构固定于所述挡环固定平台上,所述挡环升降载台安装于所述挡环升降机构的升降运动端,多个挡环挡料杆均固定于所述挡环固定平台上,且多个挡环挡料杆均匀分布于所述挡环升降载台的周围;所述挡环与成品取放料机构包括有挡环取放支架、挡环升降支臂、挡环升降支臂驱动机构、旋转臂驱动机构和旋转臂,所述挡环取放支架与所述机台固定连接,所述挡环升降支臂驱动机构与所述挡环取放支架固定连接,所述挡环升降支臂安装于所述挡环升降支臂驱动机构的升降运动端,所述旋转臂驱动机构固定于所述挡环升降支臂上,所述旋转臂安装于所述旋转臂驱动机构的旋转运动端,所述旋转臂的两端分别设有用于夹取挡环的夹爪。
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