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一种料盒式硅片转移机构 

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申请/专利权人:苏州映真智能科技有限公司

摘要:本发明公开了一种料盒式硅片转移机构,包括硅片分离模块、硅片移载模块和硅片输送模块,其中,所述硅片分离模块将料盒内的层叠硅片逐片转移至所述硅片移载模块上,由第一超声波悬浮输送带悬浮运送所述硅片至所述硅片输送模块上,由第二超声波悬浮输送带悬浮运送所述硅片至下段工位,该料盒式硅片转移机构,实现了料盒式太阳能电池硅片的无接触式输送,提高了转移料盒式硅片的转移效率,可有效避免硅片出现裂开、破损、划伤及污染等问题,提高了硅片质量,减少了资源浪费,且该料盒式硅片转移机构结构紧凑,占用空间小。

主权项:1.一种料盒式硅片转移机构,其特征在于,包括硅片分离模块、硅片移载模块和硅片输送模块;其中,硅片分离模块:包括料盒定位部、顶升机构和风刀组件,所述料盒定位部用于定位载有层叠硅片的料盒,所述顶升机构用于顶起所述料盒,使位于料盒最上层的硅片上升至预定高度,所述风刀组件向所述料盒吹风将上升至预定高度的所述硅片吹起至所述硅片移载模块;硅片移载模块:设置于所述硅片分离模块上方,用于将硅片分离模块转移来的硅片运送至所述硅片输送模块,包括第一超声波悬浮输送带和设置于所述第一超声波悬浮输送带上方的真空抽吸组件,所述真空抽吸组件对风刀组件吹起的所述硅片施加一向上的抽吸力,所述硅片固定悬浮在所述第一超声波悬浮输送带下侧的预定位置处,所述第一超声波悬浮输送带运送所述硅片至所述硅片输送模块;硅片输送模块:设置于所述硅片移载模块下方,包括第二超声波悬浮输送带,第一超声波悬浮输送带运送所述硅片至所述第二超声波悬浮输送带上方,所述真空抽吸组件停止抽吸,所述硅片下落并悬浮在第二超声波悬浮输送带上侧的预定位置处,由所述第二超声波悬浮输送带运送至下段工位。

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