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申请/专利权人：苏州东大仁智能科技有限公司
申请日：2023-11-28
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221267906U
主分类号：B01F33/82
分类号：B01F33/82;B01F25/50;B01F25/431;B01F23/80;B01F35/40;B01F35/00;B01F35/75;B01F35/71;B01F35/93
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型涉及蚀刻技术领域，公开了一种带有安全防护的三氯化铁药剂输送机构，包括底座，底座的上侧固定连接有原液储罐，原液储罐的下侧连通有限位筒，限位筒的内部上端转动连接有反向心涡轮叶，限位筒的内部下端转动连接有正向心涡轮叶，原液储罐的内侧设置有对三氯化铁药剂溶液进行加热的药剂加热机构，原液储罐的外侧设置有用泵作循环搅拌的药剂均热机构，本实用新型通过循环泵驱动溶液流体流动，利用流体推动涡轮叶，使溶液的温度与三价铁离子混合更均匀的效果，可提高蚀刻工艺的精度与效率，具有较高的实用价值。
主权项：1.一种带有安全防护的三氯化铁药剂输送机构，包括底座1，其特征在于，所述底座1的上侧固定连接有原液储罐18，所述原液储罐18的下侧连通有限位筒2，所述限位筒2的内部上端转动连接有反向心涡轮叶14，所述限位筒2的内部下端转动连接有正向心涡轮叶13，所述原液储罐18的内侧设置有对三氯化铁药剂溶液进行加热的药剂加热机构，所述原液储罐18的外侧设置有用泵作循环搅拌的药剂均热机构，所述底座1的上侧设置有将均匀混合后的药剂溶液输送至蚀刻终端的药剂供液机构，所述底座1的一侧设置有将三氯化铁溶液所含杂质进行过滤处理的药剂过滤机构，所述原液储罐18的一侧设置有防止管道阻塞造成爆管事故的安全防护机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州东大仁智能科技有限公司 一种带有安全防护的三氯化铁药剂输送机构
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