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申请/专利权人：唐山三孚电子材料有限公司

摘要：本实用新型公开一种电子级四氯化硅在线分析系统，包括取样模块、第一分析模块、第二分析模块、尾气处理模块和温度控制模块，其中，第一分析模块用于常规气体组分的分析，第二分析模块用于氯硅烷组分的分析。与现有技术相比，本实用新型电子级四氯化硅在线分析系统，能够在一个系统内同时分析氯硅烷组分和常规气体组分，且分析灵敏度很高；汽化器包括汽化罐及分离罐，未完全汽化的微小液滴在分离罐内分离，确保后端样品汽化完全；尾气处理模块设置了真空发生器，可以实现负压进样，减少尾气处理量；分析过程全程密闭，防止空气及其他污染物对产品造成影响。

主权项：1.一种电子级四氯化硅在线分析系统，包括取样模块（1）、第一分析模块（2）、第二分析模块（3）和尾气处理模块（4），其特征在于，取样模块（1）包括液相进样管（11），液相进样管（11）连接汽化器（12）的一端，汽化器（12）包括汽化罐及分离罐，汽化器（12）的另一端连接气相进样管（16），气相进样管（16）上连接有置换气管（13）、泄压管（14）和抽真空管（15），气相进样管（16）与第一分析模块（2）连接；第一分析模块（2）包括十通进样反吹阀（22）、第一切换阀（26）和第一检测器（27），十通进样反吹阀（22）内设置有第一定量环（23），十通进样反吹阀（22）和第一切换阀（26）之间设置有预分离柱（21），第一切换阀（26）与第一检测器（27）之间设置有第一分离柱（24）和第二分离柱（25），第一分离柱（24）和第二分离柱（25）分别与第一切换阀（26）的不同接口连接，第一分析模块（2）的样品出口管与第二分析模块（3）连接；第二分析模块（3）包括六通进样阀（32）、第二切换阀（35）、第三切换阀（36）和第二检测器（38），六通进样阀（32）内设置有第二定量环（31），六通进样阀（32）和第三切换阀（36）之间设置有第三分离柱（33），第二切换阀（35）和第三切换阀（36）之间设置有第四分离柱（34）和第五分离柱（37），第四分离柱（34）和第五分离柱（37）分别与第二切换阀（35）和第三切换阀（36）不同的接口连接，第二切换阀（35）与第二检测器（38）连接，第二分析模块（3）的样品出口管与尾气处理模块（4）连接；尾气处理模块（4）包括真空发生器（43），真空发生器（43）的一端连接进气管（41），进气管（41）上设置有第一气动阀（42），真空发生器（43）的另一端设置有第二气动阀（44），真空发生器（43）连接有尾气吸收罐（45）。

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