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申请/专利权人：独山中科晶元信息材料有限公司
申请日：2023-09-15
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221270735U
主分类号：B24B29/02
分类号：B24B29/02;B24B55/03
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型公开了一种砷化镓抛光装置，包括箱体和散热抛光机构，通过第一电机带动螺纹杆转动，使限位块在螺纹杆表面上下移动，通过连接轴带动驱动杆上下摆动，驱动杆通过联动轴推动连接柱相向或相背移动，调整支撑板之间的间距，通过调节伸缩杆长度，将砷化镓材料挤压固定在挤压板内侧，通过伸缩连接杆使抛光打磨盘与砷化镓材料表面接触，通过第三电机带动抛光打磨盘转动，对砷化镓材料进行抛光，通过第二电机带动伸缩杆转动，进而带动砷化镓材料转动，满足对砷化镓材料侧面抛光的需求，在抛光过程中，冷却管道内的冷却液通过冷却装置冷却后存入水箱中，水箱中的冷却液通过水泵再次进入冷却管道循环流动，进行散热。
主权项：1.一种砷化镓抛光装置，包括箱体1和散热抛光机构2，其特征在于：所述箱体1内部设置有散热抛光机构2，所述箱体1内壁两侧连接有滑槽201，所述滑槽201上表面连接有连接柱202，所述连接柱202正面连接有联动轴203，所述连接柱202上表面连接有支撑板210，所述支撑板210一端设置有储料箱218，所述箱体1内壁连接有第三电机220，所述第三电机220一端设置有清洁装置223。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 独山中科晶元信息材料有限公司 一种砷化镓抛光装置
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