龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：富士胶片电子材料美国有限公司
摘要：本公开内容涉及一种抛光组成物，其包括研磨剂、至少两种pH调节剂、阻挡膜移除速率增强剂、低k移除速率抑制剂及含唑腐蚀抑制剂。本公开内容的特征亦在于一种使用所述抛光组成物来抛光含有铜和氧化硅的基板的方法。
主权项：1.一种抛光组成物，包含：一研磨剂；至少两种pH调节剂，包含至少一种无机碱及至少一种有机碱，其中，所述至少一种有机碱与所述至少一种无机碱的摩尔比为约0.05至约2；一阻挡膜移除速率增强剂；一低k移除速率抑制剂；以及一含唑腐蚀抑制剂。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 富士胶片电子材料美国有限公司 抛光组成物及其使用方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号