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申请/专利权人：宁波卢米蓝新材料有限公司
申请日：2022-07-04
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN114959589B
主分类号：C23C14/24
分类号：C23C14/24;C23C14/30
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权;2022.09.16#实质审查的生效;2022.08.30#公开
摘要：本发明提供一种蒸镀坩埚，包括：若干主凸起和若干副凸起，设置在所述埚体的内壁表面，若干主凸起间隔设置，若干副凸起间隔设置，所述副凸起设置在相邻的主凸起之间，所述副凸起的高度小于所述主凸起的高度，所述副凸起的宽度小于所述主凸起的宽度。所述蒸镀坩埚蒸镀的膜层的厚度均匀性提高。
主权项：1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：埚体；若干主凸起和若干副凸起，设置在所述埚体的内壁表面，若干主凸起间隔设置，若干副凸起间隔设置，所述副凸起设置在相邻的主凸起之间，所述副凸起的高度小于所述主凸起的高度，所述副凸起的宽度小于所述主凸起的宽度；所述副凸起的高度为7.5um~8.5um，所述主凸起的高度为75um~85um；所述副凸起的宽度为2.8um~3.2um，所述主凸起的宽度的28um~32um；相邻副凸起的间隔为2.8um～3.2um；相邻主凸起的间隔28um～32um。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波卢米蓝新材料有限公司 一种蒸镀坩埚
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