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申请/专利权人：普诺逊真空科技(苏州)有限公司
摘要：本发明公开了一种便于膜厚取样的大型蒸镀机，涉及蒸镀机领域，包括蒸镀机、位于所述蒸镀机内部的蒸镀工艺腔室、架装于所述蒸镀机外部的间歇性膜厚取样侦测机构；所述间歇性膜厚取样侦测机构用于间歇性对硅片抽取检测硅片表面蒸镀膜的厚度，所述间歇性膜厚取样侦测机构还包括真空对接部件、抓取部件、驱动部件，本发明通过驱动部件驱使抓取部件带着硅片通过真空对接部件进入到蒸镀工艺腔室内部进行蒸镀检测作业，整个检测作业不会破坏蒸镀工艺腔室的真空环境，而且还能做到连续生产的情况下，随时进行取样检测，随时校准，实现了对整个生产过程可以定期抽查、监控和修正的目的。
主权项：1.一种便于膜厚取样的大型蒸镀机，其特征在于，包括：蒸镀机、位于所述蒸镀机内部的蒸镀工艺腔室1、架装于所述蒸镀机外部的间歇性膜厚取样侦测机构；所述间歇性膜厚取样侦测机构用于间歇性对硅片抽取检测硅片表面蒸镀膜的厚度，所述间歇性膜厚取样侦测机构还包括：真空对接部件，用于与所述蒸镀工艺腔室1的内部空间对接，且不破坏所述蒸镀工艺腔室1内部的真空环境，所述真空对接部件固定设置于所述蒸镀机的外壁；抓取部件，用于对硅片抓取并置于所述蒸镀工艺腔室1的内部进行蒸镀处理，所述抓取部件设置于所述真空对接部件的内部；驱动部件，用于对所述抓取部件移动，所述驱动部件设置于所述蒸镀机的外部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 普诺逊真空科技(苏州)有限公司 一种便于膜厚取样的大型蒸镀机
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