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申请/专利权人：广东思泉新材料股份有限公司
申请日：2022-02-17
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN114318296B
主分类号：C23C16/448
分类号：C23C16/448;C23C16/509
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权;2022.04.29#实质审查的生效;2022.04.12#公开
摘要：本发明公开了一种真空镀膜设备，其包括镀膜机箱、多个蒸发舟、电极、正极电性件、负极电性件和连接电性件。镀膜机箱内设有真空镀膜腔，正极电性件和负极电性件安装于镀膜机箱外，电极安装于真空镀膜腔内，多个蒸发舟呈纵向排列地安装于真空镀膜腔内，蒸发舟的正极端电性连接于正极电性件，蒸发舟的负极端电性连接于负极电性件。正极电性件、负极电性件和连接电性件的第一端位于同一侧，正极电性件、负极电性件和连接电性件的第二端位于同一侧，正极电性件的第一端用于与电源的正极相接，连接电性件的第二端与负极电性件的第二端电性相连，连接电性件的第一端用于与电源负极相接。本发明的真空镀膜设备能使各蒸发舟的发热功率相等。
主权项：1.一种真空镀膜设备，包括镀膜机箱、多个蒸发舟、电极、正极电性件和负极电性件，所述正极电性件与所述负极电性件的电阻率相等，所述正极电性件与所述负极电性件为各处等截面的结构，所述镀膜机箱内设有真空镀膜腔，所述正极电性件和负极电性件安装于镀膜机箱外，所述电极安装于所述真空镀膜腔内，多个所述蒸发舟呈纵向排列地安装于所述真空镀膜腔内，所述蒸发舟的正极端电性连接于所述正极电性件，所述蒸发舟的负极端电性连接于所述负极电性件，所述正极端在正极电性件上呈等间距布置，所述负极端在负极电性件上呈等间距布置，每一所述蒸发舟的正极端、负极端呈正对布置，其特征在于，还包括一连接电性件，所述正极电性件、负极电性件和连接电性件的第一端位于同一侧，所述正极电性件、负极电性件和连接电性件的第二端位于同一侧，所述正极电性件的第一端用于与电源的正极相接，所述连接电性件的第二端与负极电性件的第二端电性相连，所述连接电性件的第一端用于与电源的负极相接，所述正极电性件、负极电性件及连接电性件均为长条状铜板结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东思泉新材料股份有限公司 真空镀膜设备
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