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申请/专利权人：樫山工业株式会社
摘要：干式真空泵1具备净化气体供给路径9。在泵室6的固定侧的室内端面63与罗茨转子24的转子端面243之间沿转子端面243的外周缘部分形成有能够维持气密性的微小间隙部分，并形成有由微小间隙部分包围的更大面积的间隙部分94。经由净化气体供给路径9而将净化气体向间隙部分94供给。罗茨转子24在净化气体滞留于间隙部分94的状态下旋转，将泵室6的室内端面63附近的吸引气体稀释。抑制了生成物析出并堆积于室内端面63、以及室内端面63、转子端面243腐蚀等弊端。
主权项：1.一种干式真空泵，其特征在于，所述干式真空泵具备：泵室；转子轴，其以旋转自如的状态将在所述泵室的室内端面开口的轴孔贯通而延伸；罗茨转子，其位于所述泵室内，且安装于所述转子轴；气体密封用的第一间隙部分，其在所述泵室的所述室内端面与所述罗茨转子的转子端面之间，使得所述转子端面的外周缘部分以第一间隙与所述室内端面对置；第二间隙部分，其在所述泵室的所述室内端面与所述转子端面之间，使得所述转子端面以大于所述第一间隙的间隙与所述室内端面对置；净化气体导入路，其从在泵外壳的外周面开口的净化气体导入口延伸至在所述轴孔的内周面开口的内周面开口；轴侧连通路，其形成于所述转子轴，且与所述轴孔的所述内周面开口连通；以及转子侧连通路，其形成于所述罗茨转子的所述转子端面，且将所述轴侧连通路与所述第二间隙部分之间连通。
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