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申请/专利权人：国家电投集团氢能科技发展有限公司
摘要：本实用新型公开了一种镀膜单元和具有其的连续真空镀膜系统。该镀膜单元包括：外壳，所述外壳具有真空容纳腔；镀膜室，所述镀膜室设于所述真空容纳腔内，所述镀膜室具有真空镀膜腔以及与真空镀膜腔连通的靶材组件进出口；多个靶材组件，多个靶材组件位于所述真空容纳腔内；和靶材供给装置，所述靶材供给装置位于所述真空容纳腔内，所述靶材供给装置与多个所述靶材组件相连以便将多个所述靶材组件逐个供给到所述真空镀膜腔内、从所述真空镀膜腔内取走。通过利用该镀膜单元，可以极大提高连续真空镀膜系统的运行时长和运行效率，极大地降低连续真空镀膜系统的能耗和运行成本。
主权项：1.一种镀膜单元，其特征在于，包括：外壳，所述外壳具有真空容纳腔；镀膜室，所述镀膜室设于所述真空容纳腔内，所述镀膜室具有真空镀膜腔以及与真空镀膜腔连通的靶材组件进出口；多个靶材组件，多个靶材组件位于所述真空容纳腔内；和靶材供给装置，所述靶材供给装置位于所述真空容纳腔内，所述靶材供给装置与多个所述靶材组件相连以便将多个所述靶材组件逐个供给到所述真空镀膜腔内、从所述真空镀膜腔内取走。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国家电投集团氢能科技发展有限公司 镀膜单元和具有其的连续真空镀膜系统
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