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申请/专利权人：成都国泰真空设备有限公司
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种全自动DLC真空镀膜设备。机架上设置有控制部分和镀膜部分，镀膜部分包括第一壳体，在该第一壳体顶部设置有向内延伸的成膜室，成膜室侧部铰接有门盖；在成膜室内底部设置有旋转式铜下极板，门盖的内侧设置固定式不锈钢上极板；成膜室还配合有腔体压力调节系统和清洗充气系统。本实用新型的全自动DLC真空镀膜设备，除真空发生器以外的所有部件融于一体，在控制部分实现人机交互，统一进行功能操作，相较于传统的多步骤操作能够大大降低生产时间，提高效率，并且能够使产品的良率大大增加。将人为不确定因素降低，为实际生产提供了更好的条件支持。
主权项：1.全自动DLC真空镀膜设备，其特征在于：包括机架和真空发生器3，在所述的机架上设置有控制部分1和镀膜部分2，所述的镀膜部分2包括第一壳体，在该第一壳体顶部设置有向内延伸的成膜室4，所述的成膜室4侧部铰接有门盖5；在所述的成膜室4内底部设置有旋转式铜下极板7，在所述的门盖5的内侧设置有与该旋转式铜下极板7对应的固定式不锈钢上极板6；所述的成膜室4还配合有腔体压力调节系统和清洗充气系统；所述的真空发生器3、旋转式铜下极板7、腔体压力调节系统以及清洗充气系统均与控制部分1连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都国泰真空设备有限公司 全自动DLC真空镀膜设备
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