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申请/专利权人：汕头超声显示器技术有限公司;汕头超声显示器(二厂)有限公司;汕头超声显示器有限公司

摘要：本发明涉及一种旋架镀膜机及其镀膜方法，包括真空腔室、溅射装置、太阳轴、旋转支架、太阳轴驱动装置，多个行星轴、多个镀膜品挂架、致摆件、多个从动件、多个引导磁铁和多个受引导磁铁，旋转支架固定安装在太阳轴上，真空腔室腔体处在溅射口正对的区域构成溅射区域；各个行星轴可转动安装在旋转支架上，镀膜品挂架、从动件安装在对应的行星轴上；处在溅射区域的行星轴上的从动件与致摆件相配合；受引导磁铁安装在对应行星轴上并与各个引导磁铁的位置相对应。本发明不仅能够一次针对多个镀膜品进行镀膜，而且可以改善镀膜品在被溅射镀膜时在水平方向上膜层不均的问题，可提高对镀膜品镀膜的均匀性，有利于保证溅射镀膜的品质。

主权项：1.一种旋架镀膜机，包括真空腔室、溅射装置、太阳轴、旋转支架和用于驱动太阳轴旋转的太阳轴驱动装置，太阳轴可转动安装在真空腔室上并且为上下走向，旋转支架固定安装在太阳轴上并处在真空腔室的腔体中；溅射装置具有可供其溅射靶表面外露的溅射口，溅射口处于真空腔室的腔体中并正对旋转支架，真空腔室的腔体处在溅射口正对的区域构成溅射区域；其特征在于：所述旋架镀膜机还包括多个行星轴、多个镀膜品挂架、致摆件、多个从动件、多个引导磁铁和多个受引导磁铁，各个行星轴均可转动安装在所述旋转支架上并且为上下走向，各个行星轴处于以太阳轴为圆心的圆周上，镀膜品挂架、从动件与行星轴的数量相同且一一对应，镀膜品挂架、从动件均固定安装在对应的行星轴上；致摆件固定安装在真空腔室的腔体中并与所述溅射区域的位置相对应，处在溅射区域的行星轴上的从动件与致摆件相配合；沿旋转支架的转动方向，真空腔室的腔体处在溅射区前方的区域构成引导区域，各个引导磁铁沿旋转支架的转动方向自前至后依次设置并与引导区域的位置相对应，受引导磁铁与行星轴的数量相同且一一对应，受引导磁铁固定安装在对应行星轴上或与对应行星轴连接的镀膜品挂架上并与各个引导磁铁的位置相对应。

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