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申请/专利权人：锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要：本申请实施例提供一种体声波谐振器及滤波器，体声波谐振器包括：衬底；第一电极，设置于所述衬底的表面上；压电层，设置于所述第一电极背离所述衬底的一侧；第二电极，设置于所述压电层上，所述第一电极、所述第二电极以及所述压电层之间存在相互重叠的重叠区；介质层结构，包括多层介质层，任意相邻两层所述介质层包括第一介质层和第二介质层，所述第一介质层的声阻抗大于所述压电层的声阻抗，所述第二介质层的声阻抗小于所述压电层的声阻抗；其中，所述介质层结构设置于所述第二电极所在平面与所述衬底的表面之间，且至少位于所述重叠区外。介质层结构能够反射向下泄漏的部分声波，从而减小声能的泄漏，提高声波谐振器的Q值。
主权项：1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：衬底；第一电极，设置于所述衬底的表面上；压电层，设置于所述第一电极背离所述衬底的一侧；第二电极，设置于所述压电层上，所述第一电极、所述第二电极以及所述压电层之间存在相互重叠的重叠区，所述第二电极包括位于所述重叠区外的第二电极部，所述第一电极包括位于所述重叠区外的第一电极部；介质层结构，包括多层介质层，任意相邻两层所述介质层包括第一介质层和第二介质层，所述第一介质层的声阻抗大于所述压电层的声阻抗，所述第二介质层的声阻抗小于所述压电层的声阻抗；其中，所述介质层结构设置于所述第二电极所在平面与所述衬底的表面之间，且至少位于所述重叠区外；所述介质层结构包括第一介质层结构，所述第一介质层结构至少位于所述第一电极部背离所述衬底一侧；和或，所述介质层结构包括第二介质层结构，所述第二介质层结构至少位于所述第二电极部与所述衬底之间，所述第二介质结构与所述第一电极间隔设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 锐石创芯(重庆)科技有限公司 体声波谐振器及滤波器
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