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申请/专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日：2021-04-30
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN113233411B
主分类号：B81B7/02
分类号：B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权;2021.08.27#实质审查的生效;2021.08.20#著录事项变更;2021.08.10#公开
摘要：本发明提供了一种MEMS驱动器件及其形成方法。通过在第一衬底或第二衬底上设置固定件，以用于在刻蚀形成可动梳齿结构的过程中，固定微机械结构进而限制可动梳齿结构中的各个梳齿发生扭转，改善梳齿侧壁受到刻蚀损伤的问题。并且，在第一衬底上对应于微机械结构还设置有止挡件，该止挡件可用于限制微机械结构的最大扭转角度，以防止在外力冲击下微机械结构发生断裂的问题。
主权项：1.一种MEMS驱动器件的形成方法，其特征在于，包括：提供第一衬底和第二衬底，所述第一衬底的梳齿区中形成有固定梳齿结构以及所述第一衬底的镜面区中形成有止挡件，并且所述第一衬底的镜面区或所述第二衬底的镜面区中还形成有固定件；键合所述第一衬底和所述第二衬底，并在所述镜面区中所述固定件固定连接所述第二衬底和所述止挡件；在所述第二衬底的镜面区上形成镜面反射层，以构成微镜面结构；刻蚀所述第二衬底，以在第二衬底的梳齿区中形成可动梳齿结构，所述可动梳齿结构位于所述固定梳齿结构的上方；以及，去除所述固定件，以释放所述微镜面结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 MEMS驱动器件及其形成方法
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