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MEMS型半导体式气体检测元件 

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申请/专利权人:新宇宙电机株式会社

摘要:本发明的MEMS型半导体式气体检测元件的特征在于,其是具有MEMS结构且对氢气进行检测的MEMS型半导体式气体检测元件1,其具备基板2、设置于基板2且将金属氧化物半导体作为主成分的气体感应部3、对气体感应部3进行加热的加热部4、具有氢选择透过性且形成于气体感应部3的外侧的非活性膜5、和形成于非活性膜5的外侧且抑制气体感应部3劣化的保护膜6。

主权项:1.MEMS型半导体式气体检测元件,其是具有MEMS结构且对氢气进行检测的MEMS型半导体式气体检测元件,所述MEMS型半导体式气体检测元件具备:基板、设置于所述基板且将金属氧化物半导体作为主成分的气体感应部、对所述气体感应部进行加热的加热部、具有氢选择透过性且形成于所述气体感应部的外侧的非活性膜、和形成于所述非活性膜的外侧且抑制所述气体感应部劣化的保护膜,所述保护膜是将氧化铬或氧化钯担载于由氧化铝或包含铝和硅的复合氧化物形成的载体而成的,所述非活性膜包含具有硅氧烷键的二氧化硅膜。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 新宇宙电机株式会社 MEMS型半导体式气体检测元件

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