申请/专利权人：FEI公司

申请日：2020-04-03

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN111795987B

主分类号：G01N23/2251

分类号：G01N23/2251

优先权：["20190404 US 16/375537"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.05#授权;2022.04.19#实质审查的生效;2020.10.20#公开

摘要：利用来自不同模态的不同显微镜检测器的检测器数据从显微镜检测器生成标记图像的方法和系统，包括将聚焦带电束施加到样品，使用第一显微镜检测器检测由入射到所述样品上的所述聚焦带电束所产生的发射，然后使用来自所述第一显微镜检测器的检测器数据自动生成第一标记图像。自动生成所述第一标记图像包括基于所述检测器数据确定关于所述样品的部分的成分信息，然后用对应的成分信息自动标记所述第一图像的与所述样品的所述部分相关的区域。使用来自不同模态的第二显微镜检测器系统的检测器数据生成所述样品的第二图像，然后使用所述第一标记图像的对应成分信息来自动标记所述第二图像的区域。

主权项：1.一种利用来自不同模态的不同显微镜检测器的检测器数据从第一模态的显微镜检测器生成标记图像的方法：将聚焦带电束施加到样品；使用X-射线检测器系统并基于由入射到所述样品上的所述聚焦带电束产生的发射来生成X-射线检测器数据；由计算设备的一个或多个处理器基于所述X-射线检测器数据自动生成标记的第一图像，所述标记的第一图像包括关于所述样品的至少一部分的成分信息，其中所述自动生成所述标记的第一图像包含：由所述一个或多个处理器并基于所述X-射线检测器数据生成所述样品的第一图像；由所述一个或多个处理器基于所述X-射线检测器数据并使用能量色散X-射线光谱确定关于所述样品的一部分的成分信息；和由所述一个或多个处理器用所述成分信息自动标记所述第一图像的与所述样品的所述部分相关联的区域；使用显微镜检测器系统，基于由入射到所述样品上的所述聚焦带电束产生的所述发射来生成第二图像，其中所述显微镜检测器系统具有与所述X-射线检测器系统不同的模态；和由所述一个或多个处理器并基于所述第二图像和所述第一图像，用来自所述标记的第一图像的所述成分信息自动标记所述第二图像的与所述样品的所述部分相关联的区域。

全文数据：

权利要求：

百度查询： FEI公司 使用来自次级显微镜检测器的图像从初级显微镜检测器自动生成标记图像

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