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申请/专利权人：ICT半导体集成电路测试有限公司
摘要：描述了一种电子显微镜100。电子显微镜包括用于产生电子束的电子源110、用于准直电子源下游的电子束的聚光透镜130和用于将电子束聚焦到样本16上的物镜140。电子源包括：冷场发射器，具有发射尖端112；提取电极114，用于从冷场发射器提取电子束105以沿光轴线A传播，提取电极具有被配置为第一射束限制孔的第一开口115、用于通过加热发射尖端112来清洁发射尖端的第一清洁布置121、以及用于通过加热提取电极114来清洁提取电极的第二清洁布置122。进一步描述了操作这种电子显微镜的方法。
主权项：1.一种电子显微镜100，包括：电子源110，包括：具有发射尖端112的冷场发射器；提取电极114，用于从所述冷场发射器提取电子束105以沿光轴线A传播，所述提取电极具有被配置为第一射束限制孔的第一开口115；第一清洁布置121，用于通过加热所述发射尖端112来清洁所述发射尖端；以及第二清洁布置122，用于通过加热所述提取电极114来清洁所述提取电极；聚光透镜130，用于准直所述电子源的下游的所述电子束；以及物镜140，用于将所述电子束聚焦到样本上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ICT半导体集成电路测试有限公司 电子显微镜、用于电子显微镜的电子源、和操作电子显微镜的方法
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